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德国马尔MarSurf CWM 100光学测量仪器

简要描述:

德国马尔MarSurf CWM 100光学测量仪器。
具有亚纳米级分辨率。综合性 3D 测量系统,包含共焦显微镜和白光干涉仪

更新时间:2019-10-17访问量:1011

德国马尔MarSurf CWM 100光学测量仪器特性

  • 特殊显微镜技术,于重现高达物理极限的细微表面特征
  • 在实时视频技术中进行表面扫描,提供快速而可靠的结果
  • zui高质量物体的大型遴选
  • 元素和结构的拓扑、高度、形状和位置的测量
  • 稳定,免维护,使用寿命长
  • 机器建造:所有类型纯金属表面(打磨,轧制等),以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面
  • 医疗:植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面
  • 电子:涂层表面分析,电子和半导体组件的测量和分析
  • 光学:各种光学组件(所有材料)的粗糙度分析

德国马尔MarSurf CWM 100光学测量仪器附件

  • 传感器系统,包含:
  • 共焦显微镜 KFM,带 6x 物镜转换器
  • 相机,768 x 582 像素,zui高 48 图像/秒
  • 100 mm CNC 控制 Z 轴,集成 Heidenhain 玻璃分划尺
  • WLI 软件模块,"Inspector" 软件
  • 花岗石底座和立柱带传感器系统,CNC 控制载物台
  • 机动多轴控制 Z 轴和 XY 工作台以定位测头和像场合并
  • 50x0.8 EPI 镜头(共焦显微镜)
  • 20x0.4 DI 镜头(白光干涉仪)
  • CT 120 双轴倾斜工作台
  • 设置工作台角 /- 30°
  • 标准设置
  • 共焦显微镜:KFM 物镜 10x0.5;  20x0.75;  50x0.6,载物台和工件之间有 11 mm 间隙;  50x0.8;  100x0.9
  • 白光干涉仪:WLI 物镜 2.5x0.075;  5x0.13;  10x0.3;  20x0.4;  50x0.55;  100x0.7

技术数据

测量原则

使用干涉仪,白光干涉仪和共焦
光源(KFM 和 WLI):高功率 LED,505 nm

测量范围 mm

传感器装置在 Z 方向可移动 100 mm,CNC 控制
载物台在 X 和 Y 方向可移动 100 mm,CNC 控制
干涉仪,白光干涉仪:
测量范围 (WLI):zui高 4 mm(取决于镜头)
共集显微镜:
测量范围 (KFM):zui高 800 µm(取决于 Z 方向分辨率和镜头)

接口

230 V, 50 Hz

 

销售全国各地均有销售:北京、天津、上海、重庆、石家庄、唐山、秦皇岛、太原、沈阳、大连、丹东 、长春、哈尔滨、南京、连云港、杭州、合肥、福州、厦门、南昌、 济南、青岛、邯郸、洛阳、日照、烟台、 郑州、武汉、襄阳、十堰、长沙、广州、深圳 南宁、成都、贵阳、昆明、拉萨、西安、兰州、西宁、银川、乌鲁木齐、宁波、桂林、海南海口、温州、大理、广东、广西、浙江、福建、江苏、安徽、江西、湖北、湖南、云南、贵州、四川、青海、陕西、甘肃、宁夏、河南、河北、山东、山西、辽宁、吉林、黑龙江、内蒙古、新疆、西藏等地。

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