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半导体/FPD检查显微镜

简要描述:

能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境

更新时间:2018-05-08访问量:1067

产品编号: 4239494016
产品名称: 半导体/FPD检查显微镜 MX61
规  格: MX61
产品备注: 产地:日本
产品类别: 光学测量仪器


江西南昌半导体/FPD检查显微镜产 品 说 明
能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。

UIS2物镜形成的鲜明的观察影像
考虑了检查效率的设计
支持缺陷检测的多种功能
帮助实现多种观察的附件

UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容,可按照用途选用。另外,波像差控制带来的高品质,忠实于样本的中性色彩显示等,UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。

zui大程度校正了色差的平面复消色差物镜。是世界上首例以95%以上的弥散比例保证了光学性能(波像差)的通用型号物镜。对应微分干涉观察、简易偏振光观察和AF单元(奥林巴斯U-AFA2MA产品)。

有着高水准的色差校正的半复消色差透镜设计的通用物镜。不仅在明视场观察中,在荧光、微分干涉和简易偏振光观察中都能发挥性能。明暗视场观察请使用BD系列产品。

特别在偏振光、微分干涉观察中能发挥性能的通用物镜。

在对比度的决定上起重要作用的亮度光圈(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和亮度光圈(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知,能够防止错误操作。

为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。

MX61能与自动晶圆搬送机组合,组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外,晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器,那么不良晶圆的登录、开始和保存可以在手中快速完成。

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换,可以操作按钮瞬时间完成,提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外,UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机,在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

每次变换物镜时都需要调节亮度光圈(AS)的话,会影响检查速度。MX61对每个物镜都可以设置观察方法和AS(14级),仅切换物镜就能以zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS,提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

对应200 mm晶圆的MX-SIC8R采用了内置离合器的载物台夹子,可切换粗调和细调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,从而提高了检查速度。

根据的DUV光学设计,实现了减少光晕、图像分辨极限达80nm的高对比度影像。可以在低倍率可见光线到DUV环境下进行连续观察。

由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜,和红外线用超广角三目镜筒等,对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。

对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载,实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA(数值孔径)的B型号两种型号。

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像,帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

江西南昌
机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射 反射/透射
照明装置 机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明 纤维光导
对焦单元 电动/手动 手动
行程 32 mm
分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
zui大样本高度 30 mm
物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式 -
载物台 行程 8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm
观察筒 广角视场(视场数22) 倒置 双目/三目观察筒
正像 三目观察筒
超宽视场(视场数26.5) 倒置 三目观察筒
正像 倾斜三目观察筒
附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 509(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量 40 kg(标准组合



 

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